|
|
Depth profiling of multilayers by LEIS
Strapko, Tomáš ; Duda, Radek (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
The master's thesis deals with introducing the model which would enable better interpretation of the depth profiles obtained by the LEIS method. The difficulty of the interpretation is caused by the significant contribution of multiple-scattered projectiles to the resulting measured spectra. These projectiles do not provide useful information from respected depth. In contrary, single-scattered projectiles yield more precise information about the composition and the thickness of the layers. The model created in the presented work attempts to determine the contribution of single-scattered particles to the resulting spectral shape and, based on the computation, a depth profile of the sample as well.
|
|
|
Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS
Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních vlastností, nedokáže potlačit tzv. matricový efekt, který činí kvantifikaci dat velice obtížnou. Vůči tomuto efektu je naopak imunní metoda LEIS, proto je vhodným doplněním metody SIMS. Jako vyhovující vzorek k porovnání byly vybrány vzorky AlGaN o různých koncentracích galia a hliníku. V první části práce je představena fyzikální podstata obou metod, experimentální sestavy a zkoumané vzorky. Ve vlastní části práce jsou pak popsána jednotlivá měření, porovnány data získaná výše zmíněnými metodami.
|
|
|
Nízkoenergiový rozptyl iontů inertních plynů na zlatých strukturách
Joch, Vítězslav ; Čech, Vladimír (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá srovnáním experimentálních a simulovaných výsledků nízkoenergiového rozptylu iontů. Teoreticky popisuje principy nízkoenergiového rozptylu iontů a spektrometr na Ústavu fyzikálního inženýrství. Uvádí postup přípravy vzorků s použitím roztoku koloidního zlata. Charakterizuje depozici zlatých nanočástic. Objasňuje význam a použití časových a energiových spekter nízkoenergiového rozptylu. Zmiňuje také jev kanálování v křemíkovém substrátu.
|
|
|
Depth profiling of multilayers by LEIS
Strapko, Tomáš ; Duda, Radek (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
The master's thesis deals with introducing the model which would enable better interpretation of the depth profiles obtained by the LEIS method. The difficulty of the interpretation is caused by the significant contribution of multiple-scattered projectiles to the resulting measured spectra. These projectiles do not provide useful information from respected depth. In contrary, single-scattered projectiles yield more precise information about the composition and the thickness of the layers. The model created in the presented work attempts to determine the contribution of single-scattered particles to the resulting spectral shape and, based on the computation, a depth profile of the sample as well.
|
|
|
Kvantitativní analýza matricových prvků metodami SIMS a LEIS
Staněk, Jan ; Šik, Ondřej (oponent) ; Bábor, Petr (vedoucí práce)
Tato práce se zabývá porovnáváním a propojením dvou spektrometrických metod – spektrometrie rozptylu nízkoenergiových iontů (LEIS) a hmotnostní spektrometrie sekundárních iontů (SIMS). Metoda SIMS totiž, přes mnoho pozitivních vlastností, nedokáže potlačit tzv. matricový efekt, který činí kvantifikaci dat velice obtížnou. Vůči tomuto efektu je naopak imunní metoda LEIS, proto je vhodným doplněním metody SIMS. Jako vyhovující vzorek k porovnání byly vybrány vzorky AlGaN o různých koncentracích galia a hliníku. V první části práce je představena fyzikální podstata obou metod, experimentální sestavy a zkoumané vzorky. Ve vlastní části práce jsou pak popsána jednotlivá měření, porovnány data získaná výše zmíněnými metodami.
|
|
|
Nízkoenergiový rozptyl iontů inertních plynů na zlatých strukturách
Joch, Vítězslav ; Čech, Vladimír (oponent) ; Průša, Stanislav (vedoucí práce)
Tato diplomová práce se zabývá srovnáním experimentálních a simulovaných výsledků nízkoenergiového rozptylu iontů. Teoreticky popisuje principy nízkoenergiového rozptylu iontů a spektrometr na Ústavu fyzikálního inženýrství. Uvádí postup přípravy vzorků s použitím roztoku koloidního zlata. Charakterizuje depozici zlatých nanočástic. Objasňuje význam a použití časových a energiových spekter nízkoenergiového rozptylu. Zmiňuje také jev kanálování v křemíkovém substrátu.
|
host ::
RSS.